文章出處：技術支持|閱讀量：1617|發表時間：2021-12-20
目前，我國半導體和面板等精密制造產業處于產業風口，下游強勁需求帶動無塵室工程高景氣度。根據中國電子學會預測，到2020 年，我國無塵室工程行業市場規模將由 2015 年的767.55 億元增至1,412.33 億元，年均復合增長率在12.97%左右。行業市場規模的持續擴大為行業領先企業提供了巨大的發展機遇和廣闊的市場前景，無塵室工程作為半導體和面板等行業的前期必備硬件投資將決定著這些企業的產能及市場競爭力水平。>>>商務洽談，點此處，在線咨詢
集成電路工藝成本很高，其主要原因之一就是需要在無塵室中進行制造。在制造過程中如果存在微小粒子，會引起微電子元器件和電路缺陷，因此半導體芯片的制造必須在無塵室中進行。隨著圖形尺寸的縮小，殺手微粒(影響元器件特性的關鍵微粒)的尺寸也隨著縮小，所以越小的圖形尺寸就需要純凈度更高的無塵室。
半導體行業無塵室/檢測實驗室工程設計要點 CEIDI西遞
由于微粒對成品率造成極大影響，所以集成電路制造商投入相當多的努力改善無塵室的環境并減少微粒的數目。無塵室的衣柜、衣服和穿著無塵衣的程序都有助于提高無塵室的質量，嚴格的無塵室規則對于隔離污染物及防止成品率降低很有幫助。 當然，電子廠房也不會專門只設計裝修一個無塵室，大多是在廠區新建或者升級改造的形勢下，做整廠的裝修計劃。這里面就有區分無塵受控潔凈區和普通區域。
電子制造廠房凈化工程平面分區：
1、潔凈生產區
2、潔凈輔助區
3、辦公管理區
4、設備區
像我們前面說的無塵室就會建設在潔凈生產區，在這部分工作區域內，工作人員需要做嚴格的隔離措施進到無塵室空間工作(穿無塵服)。因為在無塵室受控條件內生產的電子產品多為高精度的電子元器件，儀器設備對環境要求較高，不起眼的微塵都會影響到精密電子產品的質量，穿無塵服可以防止人體身上的塵埃進入到空氣中，保障無塵車間的清潔度。
電子制造無塵室按照工藝要求一般會分千級、萬級或十萬級，譬如末端工藝的LCD制屏無塵車間。背光屏沖壓無塵車間、組裝無塵車間潔凈度一般設為萬級或十萬級，不需要達到千級。總的來說在無塵車間有多種工藝工序時，可以根據工藝的不同要求，采用不同的空氣潔凈度標準進行建設，很多甲方也是委托CEIDI西遞的設計團隊為其規劃分區，以謀求最大的經濟效益。
要使電子無塵室潔凈度等級達到相應要求,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等都要按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，同時對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。以電子萬級無塵室為例，電子制造萬級無塵室相關技術指標如下：
1、電子制造廠萬級無塵室內的噪聲級(空態)：不應大于65dB(A)、
2、電子制造廠萬級無塵室溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊無塵車間有相關溫濕度規定)。
3、電子制造廠無塵室垂直流無塵室滿布比不應小于60%，水平單向流無塵室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
4、電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。
5、電子制造行業萬級無塵室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、根據熱，濕負荷計算確定電子廠無塵室的送風量，保證供給無塵室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
7、電子制造行業無塵室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。
無論哪種無塵車間都是依據生產工藝的基礎來做設計，再結合甲方的預算做設備選型，CEIDI西遞這類潔凈工程EPC總包公司一般會結合甲方屬意的設備清單(品牌)，做全面評估，綜合工藝、空間等各種因素來確定采用何種凈化方案和凈化設備選型等內容。譬如：要求不高看中初投資低的甲方，可以選用柜機+FFU。要空氣處理效果最大化、噪音低、廠房面積也比較大且預算不吃緊的，可以設計組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口的方案，并按技術評估后的方案為甲方推薦合理的設備選型。經技術調整后的搭配方案不僅為甲方后續穩定運行打好基礎，可能也為甲方節省下了不必要的開支。
電子制造無塵室是工業無塵室中非常富有技術性的凈化工程，建設單位的技術水平會直接影響整個工程的優劣。所以電子制造行業的凈化工程須謹慎對待，與專業的潔凈工程EPC集成服務商合作會是相對保險的良策。
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